Quá trình sản xuất của các este phosphate chủ yếu bao gồm các phương pháp sau:
Phương pháp phốt pho pentoxide: Đây là phương pháp được sử dụng phổ biến nhất, sử dụng phốt pho pentoxide (P2O5) để phản ứng trực tiếp với rượu để ester hóa. Phương pháp này đơn giản để vận hành và dễ phản ứng. Hiện tại, khoảng 70% este phốt phát công nghiệp sử dụng phương pháp này.
Phương pháp phốt pho trichloride: Phương pháp này bao gồm ba bước. Đầu tiên, phốt pho trichloride (PCL3) phản ứng với các hợp chất hydroxyl ở nhiệt độ phòng, sau đó thủy phân, và cuối cùng trung hòa để tạo ra este phốt phát. Phương pháp này cũng có một số ứng dụng nhất định.
Phương pháp phốt pho oxychloride: phốt pho oxychloride (POCL3) được sử dụng để phản ứng với rượu để tạo ra este phosphate. Phương pháp này cũng có một số ứng dụng nhất định.
Phương pháp axit polyphosphoric: axit polyphosphoric được sử dụng để phản ứng với rượu để tạo ra este phốt phát.